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天准科技：Muetec掩膜检测设备已可覆盖65-90nm工艺目前尚未达到EUV掩膜检测设备精度-世界动态

时间：2023-05-30 06:37:25 来源：界面新闻

【资料图】

天准科技5月29日在互动平台表示，Muetec的掩膜检测设备已经可以覆盖65-90nm工艺，目前尚未达到EUV掩膜检测设备的精度。

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